二手 SVG 18 DWC #58186 待售
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單擊可縮放
ID: 58186
晶圓大小: 2"-5"
優質的: 1987
Double sided wafer cleaner for Si wafers, 2"-5"
Model no: 8120
(2) Brush stations
Cassette to cassette loading
Spin dryer
Missing belts and brushes
Power requirements: 220 V, 50 Hz
1987 vintage.
SVG 18 DWC是一種晶圓和掩模洗滌器,設計用於半導體制造環境中。這個洗滌器是由晶片級、掩模級和雙頭晶片洗滌器組成的三級機器。晶片級由單個電動頭和四個表面組成,用於洗滌。每個表面都是為了提供一個洗滌方向,以便從晶圓表面去除顆粒。蒙版舞臺使用可調節的雙頭洗滌器清潔蒙版表面的蒙版材料。這一階段包括一個用於低壓清潔的浮動刷子,以及一個用於清除灰塵、研磨沙子和其他來自掩蔽表面的堅硬顆粒的噴霧。雙頭晶片洗滌器的設計提供了一個用於清洗晶片表面的兩層工藝。第一個頭設計為使用低壓擦洗來清除小汙染物。第二個頭設計為使用高壓噴霧噴嘴去除更大、更持久的顆粒。SVG 18DWC設計為與其他晶圓或掩模清洗機結合使用。它可以用來在進入濕酸浴之前預先清洗一個表面,或者在濕酸浴剝去任何較大顆粒後再清洗一個表面。這個洗滌器還包括可選的液體檢測和監控設備,以及一個控制模塊,允許在用戶的洗滌過程中的靈活性。模塊包括用於監視洗滌過程的可視監視器,以及用於控制洗滌參數的可編程邏輯控制器(PLC)。總體而言,18 DWC是一種可靠、高效的洗滌器,能夠在半導體制造設施中從晶圓和掩模表面去除大小顆粒。它是一個偉大的補充,以清潔機器的範圍內可用於去除半導體器件顆粒。
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