二手 SVG 600 HT Micralign #293655054 待售
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SVG 600 HT Micralign是一種晶圓和掩模洗滌器，設計用於清潔和對齊半導體制造的基板。該洗滌器針對高溫應用進行了優化,能夠承受高達600°C （1112 °F）的溫度。其設計采用旋轉運動和可調節的清潔壓力和角度相結合的方式，有效地去除面罩和晶片中的汙染物和顆粒，而不會損壞細膩的表面。洗滌器具有先進的電子平臺，允許精確編程，以準確和重復清潔基板高效。內部顯微鏡允許對清潔過程進行精確的目視檢查和反饋。洗滌器由三個主要部件組成：清潔頭、旋轉驅動器和檢查/駕駛平臺。清潔頭采用雙同軸磨刷裝置。在清潔頭可調節的壓力和角度的幫助下，雙磨料刷牙動作將顆粒一直清除到基板邊緣。旋轉驅動器用於驅動清潔頭的運動，允許在基板上進行精確的清潔運動。旋轉驅動器的設計非常可靠,能夠加速至高達10,000 RPM的速度,以實現快速有效的清潔。檢查/監控平臺允許使用內部顯微鏡對清潔過程進行精確的目視檢查。它還允許數據記錄和分析整個清理過程中使用的參數。總體而言，600 HT Micralign是一種先進的晶圓和掩模洗滌器，專為高溫應用而設計。它是為精確可靠的清潔而設計的，為制造商提供了一致生產優質基材所需的性能。
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