二手 SVG 8600 #293652301 待售

製造商
SVG
模型
8600
ID: 293652301
Coater / Developer system.
SVG 8600是一種晶片和掩模洗滌器,設計用於在半導體過程中清洗晶片和掩模。它由低振動、高扭矩的電動機提供動力,包含一系列單獨的模塊,包括不銹鋼清潔罐、超聲波換能器陣列和往復式清潔臂。清潔罐作為化學清洗的主要部件,由自動化的化學噴射設備和化學儲存容器組成。該系統使選擇的化學品能夠添加到清潔罐中,確保在該過程中進行化學輔助清潔。此外,儲罐能夠容納300毫米大小的晶片。超聲波換能器陣列作為洗滌單元的主要部件。當被激活時,傳感器會產生微小的高頻振動流,然後通過充滿噴射的清潔液進行投射。這種流體有助於去除晶片表面的汙垢和其他物質,使其保持清潔,並為後續的過程做好準備。最後用往復式清潔臂在罐體上來回移動晶片,以確保整個表面積均勻清潔。該臂能夠攜帶多個尺寸達300毫米的晶片,在此過程中可以行進到50毫米。綜上所述,8600晶片和掩模洗滌器是一種高效的機器,利用多個交互模塊,用於去除晶片和掩模中的汙染物。洗滌器由低振動、高扭矩的電動機提供動力,並設有自動化的化學噴射機、超聲波換能器陣列和往復式清潔臂。在使用時,這些元件協同工作以清潔晶圓和掩模表面,從而實現快速高效的半導體工藝生產。
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