二手 SVG 8600 #293758579 待售

SVG 8600是晶圓和面膜洗滌器，來自SVG的先進幹濕清洗設備。該系統為當今微光刻密集型半導體和平板顯示器（FPD）生產線提供高效、可重復的清潔和優化處理。它配備了1類硬質外殼和側面加載機構,可容納晶圓和掩模基板-無論是平面還是盒式。洗滌過程從獲得專利的大氣壓力等離子體射流開始，該射流經過優化以去除晶圓或掩模基板表面的顆粒、薄膜和殘留物。這種等離子體射流發展出一種表面電荷，使過程能夠去除高電荷金屬，如銅和鋁。其次，復合洗滌技術采用積極的機械運動結合專用潤滑劑來去除汙染物，從而更有效地清潔。為進一步提升洗滌工藝，8600采用多階段洗滌。這次洗滌使用高壓、去電離噴霧，提供比目前市面上任何單級機組都更完整、更徹底的清洗。噴霧從一排先進噴嘴中釋放出來，這些噴嘴被設計用來覆蓋基板的整個表面。除了增強的洗滌能力外，SVG 8600還具有多種精密測量功能，以監控和控制清潔過程。該機器具有接觸間距和晶圓直徑的測量，以及一個邊緣跟蹤工具，允許精確的過程控制。最後,8600具有廣泛的軟件功能,使其能夠輕松集成到現有的流程控制體系結構中。它的重復清潔單元（RCC）子系統軟件不僅使清理過程自動化,而且還便於數據收集和分析,以確保從運行到運行的可靠和一致的結果。這樣，它確保了所有類型的基板和應用的最高質量的清洗。總體而言,SVG 8600提供了強大而精確的洗滌資產,旨在最大限度地提高質量並最小化周期時間。憑借其先進的清潔工藝和廣泛的測量，它提供了一個幹凈和一致的表面光潔度，以及卓越的可靠性和可重復性。8600是任何微光密集型生產線的理想選擇。