二手 SVG 8600 #293758581 待售

SVG 8600是一種自動化晶片和掩模洗滌器,旨在高效清潔和制備晶片和掩模表面以進行額外制造。洗滌器利用旋轉刷子設備進行洗滌，以清除表面汙染物，如金屬顆粒和金屬氧化物，以及光致抗蝕劑殘留物。旋轉刷可徹底、均勻地清除臨界邊緣部分的殘留物,而不會損壞細膩的晶片或掩模表面。這樣就不需要手動擦洗,從而實現了更經濟高效的生產過程。洗滌器配有雙刷子，一般使用的標準刷子和粗糙或困難應用的專用刷子。標準刷子的設計提供了溫和的擦洗動作，而特殊刷子的擦洗動作高達標準刷子強度的十倍。這使得洗滌器能夠瞄準最堅韌的殘留物類型，使晶圓或掩模表面保持清潔，並做好額外處理的準備。洗滌器有一個清洗罐，容積可達6升。這允許同時使用多個晶片或掩碼以實現吞吐量和效率。洗滌器既能濕洗又能幹洗，適合各種基材和應用。洗滌器包括一個輸送機，用於將晶片和口罩送入和送出清潔罐。傳送帶是可調的，允許對洗滌運動的精確控制。皮帶轉速可設定為0至600 rpm，提供對洗滌動作的控制。洗滌器由專有的微處理器控制系統驅動，該系統監視和控制洗滌器的操作。該單元具有具有警告和警報功能的自診斷機,以及基於計時器的高級作業調度工具。總體而言，8600是一種強大而可靠的晶片和掩模洗滌器，旨在實現準確和高效的基材制備。其雙刷子、可調輸送機和微處理器控制資產的結合，使其成為許多晶圓和掩模清潔應用的理想設備。