二手 SVG 8600 #9265340 待售

SVG 8600是由SVG Automation ACM製造的自動化晶圓和掩模洗滌器。是為半導體生產和基板清洗而設計的先進設備。8600能夠處理200 mm的晶片和600mm x 600mm的掩模尺寸。SVG 8600中的Robotic Track由工業級鑄鋁制成，包括精密的滾珠軸承線性滑軌，用於完美的晶圓和掩模處理。高速機動軌道可實現可重復的精確基板傳輸。使用8600的AccuJet®噴嘴技術進行洗滌,該技術利用高壓噴射去離子化（DI）水來有效去除顆粒。AccuJet系統提供可定制的壓力和持續時間設置,以確保最佳清潔性能。SVG 8600采用濕洗技術，以實現更好的自我維護。采用蓋子減少蒸發，保證最佳洗滌效率。內置填充傳感器從外部水箱收集DI水，通過管道與洗滌器相連。8600可以監控洗滌過程，並能對反饋和數據收集作出實時反應。SVG 8600還包括一個高效微粒空氣（HEPA）過濾單元，負責收集和清除擦洗區域的微粒。與其他洗滌器相比，HEPA過濾器直接安裝在洗滌器上，往往消耗最低的能量和磨損。此外，8600還設計了磁閥來控制洗滌參數，並配有多個傳感器來識別潛在的洗滌器操作問題。SVG 8600還包括用於精確控制和性能監控的車載計算機。它能夠存儲洗滌參數、晶片和掩模狀態等數據，8600是先進半導體生產和基板清洗的理想洗滌器。其機器人軌道、AccuJet噴嘴機、HEPA過濾、傳感器和車載計算機確保精確控制和數據收集。SVG 8600能夠擦洗200 mm大小的晶片和600mm x 600mm大小的掩模。它具有可自定義的壓力和持續時間設置,為獲得最高的清潔效率和性能提供了理想的平臺。