二手 SVG 8600 #9404481 待售
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SVG 8600晶片和掩模洗滌器是一種自動化拋光設備,設計用於實現半導體行業晶片的高通量清洗。它使用通電和非通電介質的獨特組合來擦洗和拋光晶片和面膜。8600具有機械臂,可在清潔周期結束時拆卸晶片和掩模,從而以高效和經濟高效的方式實現晶片和掩模的高吞吐量和精密清潔。集成洗滌器的設計使用戶能夠快速準確地啟動清潔周期,並為各種基材類型提供理想的清潔解決方案。SVG 8600旨在激活多種洗滌和拋光介質,讓用戶定制自己的清潔要求。該系統還提供了一個用戶友好的界面,能夠方便的設置和最佳的清潔性能。控制器連接到機械臂,使用戶能夠在幾種洗滌和拋光介質以及清潔循環選項之間進行選擇。智能編程單元(IPS)進一步允許根據基板類型自動調整擦洗和拋光介質。機械臂用於將晶片和掩模移動到洗滌器中,並將其運輸以實現快速高效的清潔。洗滌器被設置為保持一定的洗滌和拋光參數,以確保最佳的清潔基板和保持高質量的結果。該機器能夠擦洗和拋光各種基板,包括光掩模,晶圓,和其他SEM CMP目標。晶片和口罩夾在一個支架和洗滌器啟動了一系列的高度精確scibliy圖案的筆觸在基材。然後,機械臂將基板和面罩從洗滌器中移出,使用戶可以不斷地將其移出,並在必要時重復洗滌過程。8600經過全面測試和認證,符合ISO 14001和9001標準。它的組件還具有高度的可靠性,以最大限度地提高吞吐量並最小化停機時間。這種完整的清潔解決方案使其成為半導體和無晶圓廠制造行業的理想選擇,這些行業需要經濟高效、高質量的晶圓和面膜洗滌及拋光解決方案。
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