二手 SVG 8600 #9411945 待售

SVG 8600是半導體工藝設備領先制造商Semi-Tek的晶圓和掩模洗滌器。這種洗滌器旨在為半導體晶片和掩模上的表面汙染物（如光致抗蝕劑）提供更好的清潔。它的清洗過程是完全自動化的，並使用氧自由基來保證徹底清潔的基板。8600是一種用途廣泛、可靠的清潔設備。利用氧氣真空去除過程產生的殘留物，而不改變基材和掩模的性能。系統可以處理直徑不超過8英寸的晶片和尺寸不超過10英寸的掩模。而且，它還配有一個集成洗滌器單元，用於清除表面的顆粒和汙染物。SVG 8600采用兩階段清洗循環。第一階段使用氧氣從表面除去有機化合物。這種蒸氣在密封的反應室中產生，並通過晶圓或面膜輸送。蒸氣然後與表面的有機化合物反應，將自身附著在上面，分解成氧自由基。在清潔循環的第二階段，氧自由基附著在顆粒和汙染物表面，使它們氧化。氧化後，氣體和微粒被真空從表面抽出。這一工藝重復了幾次，其設計目的是提供比典型的濕洗工藝更清潔的基材和口罩。機器由基於PC的軟件套件控制和監控。此套件包括對故障診斷的支持,以及指導工具操作員完成故障排除過程的常見故障和解決方案庫。它還提供資產參數的實時報告，並且可以與流程管理軟件相連接。模型也是完全可定制的。洗滌器頭可以在x和y兩個方向上移動，以便清潔不同形狀和尺寸的基板。此外,還可以調整步速和停留時間,以便用戶根據特定要求定制清潔參數。設備還配有電離器，在清洗前消除基板或面罩的靜電。總而言之,8600是一種自動晶片和掩模洗滌器,旨在實現卓越的清潔和表面凈化.它用途廣泛,提供完全可定制的清潔周期和診斷軟件套件,用於故障排除。它可靠、有效，確保每次都有幹凈的底物和面膜。