二手 SVG 8620 / 8636 #293625501 待售

ID: 293625501
晶圓大小: 6"
Dual track wafer scrubber, 6".
SVG 8620和8636是SVG公司生產的先進晶圓和掩模洗滌器系統。這些洗滌器系統提供精密、無化學物質的洗滌器優化,以便能夠清潔、安全地處理精致、復雜的材料。SVG 8620和8636洗滌器系統利用兩個晶片洗滌器頭和一對獨立驅動的掩模洗滌器頭,從而對晶片和掩模進行了詳細的控制和磨砂優化。首先,SVG 8620和8636晶片和掩模洗滌器系統最重要的特點是能夠提供精確、無化學物質的洗滌器。這些洗滌器采用集成的無化學刷子,可以擦洗各種細膩的材料,包括氧化物、氮化物和PECVD材料。此外,這些刷子采用先進的技術,允許精細和集中擦洗到28nm間距。這些特性使得洗滌器系統非常適合洗滌晶圓和掩模材料的復雜細節。SVG 8620和8636晶圓和掩模洗滌器系統的另一個重要特點是它們的兩個晶圓磨砂頭和兩個掩模磨砂頭。這些磨砂頭可以調整以減少清潔周期時間,也可以獨立驅動和編程,從而允許更大程度的定制。此外,這些磨砂頭可以用特殊的序列和食譜進行編程,使它們能夠根據特定的擦洗需求量身定制。最後,SVG 8620和8636晶片和面膜洗滌器系統還具有自動洗滌、清潔和幹燥循環的特點。這樣,洗滌器就可以用最少的手動輸入來清潔、幹燥和沖洗材料,從而節省時間並提高吞吐量。此外,洗滌器系統具有旋轉載荷向下臂,允許更均勻和完整的清潔。最後,SVG 8620和SVG 8636晶片和掩模洗滌器系統是為精密無化學洗滌器而設計的先進系統。這些洗滌器系統的特點是集成了28nm音高的無化學刷子,以及兩個晶圓磨砂頭和兩個面罩磨砂頭。此外,洗滌器系統還具有自動洗滌、清潔和幹燥循環的功能,同時還有一個旋轉載荷下降臂,以實現更均勻和完整的清潔。
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