二手 SVG 8620 #293609704 待售

SVG 8620是一種精密晶片/掩模洗滌器，用於在生產和研發應用中清洗半導體晶片和基板。8620是一種單頭洗滌器，能夠處理150毫米至200毫米之間的表面。洗滌器由集成離心力進給系統提供動力，提供從0到25運動/分鐘的一致洗滌速度。可選的索引旋轉臂也可用於擦洗300毫米以下的基板。洗滌器采用空間清潔技術，確保在運行過程中從晶片邊緣有效清除汙垢和顆粒。這是通過使用橫向路徑來實現的，在該路徑中，洗滌頭穿過多環波狀模式旋轉。這種波狀模式遵循基板的縱軸，隨後將洗滌塗抹器對準基板的邊緣，以便有效地去除任何已經沈積在那裏的雜質。洗滌器設計用於蒸餾水和低pH異丙醇清潔液。通過使用基於洗滌劑、含表面活性劑的清潔溶液，洗滌器能夠為晶片和掩模基板提供全面的清潔，去除有機和無機雜質，否則這些雜質可能會被個性化清潔過程遺漏。該機器還包括一個集成的CCD攝像機，它允許目視監測和檢查洗滌過程，確保清潔是一致和有效的。洗滌器還可以自動化，與CMOS和MEMS金屬沈積和去除工藝協同工作，從而使項目比傳統方法更快速、更高效地完成。這種自動化是通過使用機械臂實現的，該機械臂允許洗滌頭在使用時始終處於正確的位置，以及每次使用後重新定位洗滌頭。該機還配備了先進的計算機系統，允許監控清潔時間、清潔溶液使用情況等變量，以確保最佳性能和一致性。總體而言，SVG 8620是一種高效的洗滌器，能夠清潔150毫米至300毫米之間的基板，消除有機和無機雜質，為晶圓和掩模基板提供卓越的清潔。機器還包括先進的自動化、檢查和監控系統，確保無論基材大小或類型如何，都能保持一致和有效的清洗。