二手 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293637143 待售
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ID: 293637143
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Single wafer processor, 12"
(4) Loadports
(20) Chambers
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta+是為制造高純度半導體和集成電路而設計的設備。該系統能夠清洗、擦洗和清洗過程中使用的晶片和口罩。它旨在提供一個完全自動化和高效的過程,能夠處理多種尺寸的晶圓,具有可編程的消毒和洗滌時間,以最大的效率。TEL Cellesta+由ProCleaner單元、ProScrubber單元和碎片收集托盤組成。ProCleaner利用雙罐裝置提供精確的壓力和溫度控制水;這有助於實現高質量的晶圓和面罩清潔。ProScrubber配備了晶片/面膜洗滌鰭,還能夠利用酸、堿性和中性洗滌液進行精確清洗。ProScrubber還能夠對洗滌解決方案執行溫度和壓力控制,以減少洗滌時間。碎片收集盤收集洗滌過程產生的任何剩余顆粒。TOKYO ELECTRON Cellesta+設計為用戶友好且易於使用。它安裝有觸摸面板顯示屏,操作員可以快速輕松地選擇所需的設置。顯示屏還允許用戶監控機器的狀態,如洗滌過程的進度和罐中剩余溶液的等級。該工具還配備了多種安全功能,如溫度傳感器、壓力閥等安全功能。這些安全特性有助於減少漏水和汙染的可能性。總體而言,Cellesta+是一項高級資產,旨在為半導體和IC制造中使用的晶圓和掩模的清潔和擦洗提供高度自動化和高效的過程。通過精確的壓力和控溫水、溫控壓洗滌溶液以及各種安全功能,該模型能夠在短時間內實現優質清潔的效果。
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