二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #293817570 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是用於制造半導體器件的高度精密的蝕刻器/asher。具有在晶片上快速蝕刻各種薄膜的能力,具有較高的蝕刻精度和較低的汙染水平。它配備了先進的氣體輸送設備,能夠產生受控的、精確的各種氣體流動。這允許創建統一和一致的蝕刻配置文件。TEL NS 300配備了先進的CVD沈積系統,可以沈積各種材料,如SiO2、PVD、低k電介質。該裝置效率高,保證了膜的均勻沈積,沈積速率高。因此,TOKYO ELECTRON NS300提供了比其他蝕刻器/灰燼更高的器件產量。TEL NS300還配備了幾種高級蝕刻模式,如CMP/CF-TEOS、O2、H2O蝕刻模式。此外,其最先進的真空機器即使在高真空水平下也能確保最佳蝕刻速率。此外,TEL/TOKYO ELECTRON NS300能夠產生高分辨率的復雜3維圖樣。其獨特的制圖技術有助於制造具有非凡分辨率的高度復雜的晶圓器件。NS 300還配備了先進的溫度和環境控制功能。這樣就可以在惡劣的環境中使用該工具。此外,其安全特性使其成為最安全的蝕刻系統之一。NS300是專為高性能和介電蝕刻,CVD沈積,復雜的圖案設計。其先進的特點提供了高蝕刻精度、均勻控制的氣體輸送資產和高產裝置制造。這使得它成為高技術應用如半導體器件制造的理想選擇。
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