二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9228401 待售

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是晶圓和掩模洗滌器，設計用於半導體工藝操作。它實現了高效、低顆粒的加工。TEL NS 300提供自動晶片洗滌操作,這對於手動方法效率低下的大型流程運行至關重要。這包括在裝入加工室前擦洗基板邊緣，清洗用過的支架，加工後完成清洗操作。洗滌器配有一個支撐晶片和工藝支架的主平臺，以及一組「臂」，用來牢固地握住晶片或掩模並旋轉以進行洗滌。它能夠水平或垂直旋轉,速度高達7000 RPM。洗滌器還有一個專用的水箱設備，用於蝕刻解決方案，具有自動填充和排水系統。洗滌器配有兩個洗滌器，能夠處理液體和粉末清潔劑。它們在高轉速旋轉時分配在基板和工藝支架上。洗滌器具有一組有效的特性，以盡量減少顆粒汙染，例如一個集成真空單元，將顆粒捕獲並沈積到轉移容器中。該洗滌器設有一個粒子計數器，可監控大於0.5 μ m的粒子，以及一個先進的遙控器，可以從授權的遠程位置控制洗滌器。NS 600符合SEMI S2標準最大限度地減少粒子汙染，是同類中效率最高的。這款行業領先的產品引領著清潔高效半導體工藝運營的發展。