二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9361632 待售

ID: 9361632
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Scrubber, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是一款先進的晶圓和掩模洗滌器,設計用於半導體工業。該裝置能夠通過其洗滌作用產生較低的顆粒計數,從而提高了IC產量和可靠性。它有一個自動化的三軸運動控制系統,以提高精度,以及一個雙側磨砂臂和頂側磨砂噴射技術。TEL NS 300還配備了包括初始磨砂、拋光和洗滌周期在內的三個不同的洗滌階段。該機設計用於清潔各種材料,包括GaAs、Si、聚酰亞胺、環氧樹脂和粘合劑。它使用三軸運動控制系統在晶圓表面精確移動磨砂臂。雙面磨砂臂和頂面磨砂噴射技術旨在有效去除晶片表面的顆粒和汙染物,同時避免損壞晶片。三級洗滌循環首先從晶圓表面去除顆粒和有機汙染物,然後進行拋光,最後進行洗滌循環,以進一步減少顆粒。TOKYO ELECTRON NS300設計具有多種安全功能,包括吸塵器、防反向散射濾波器和濾波時間傳感器。真空吸塵器防止汙染空氣或灰塵進入洗滌器,而防反向散射過濾器則保護設備免受微觀顆粒和紫外線輻射的傷害。濾掉時間傳感器在一定時間後自動停止機器運行,以盡量減少進一步的汙染。機器緊湊高效,能效比高達20。它還配備了廣泛的控制能力,讓用戶可以即時進行調整。可調擦洗速度,以及可調擦洗墊壓力,增加或減少擦洗循環的作用力,使使用者能量身定制其擦洗過程,以適應晶圓的特定要求。除了先進的洗滌能力外,TEL/TOKYO ELECTRON NS300還易於使用和維護,自動清潔和維護組件作為標準配置。它直觀的用戶界面和圖形顯示隨時為用戶提供清晰簡潔的指導。這樣可以確保用戶能夠保持較高的流程控制級別,從而使他們能夠快速輕松地排除問題。總體而言,NS 300是一款高度先進且可靠的晶圓和掩模洗滌器,旨在在各種應用中提供卓越的性能。其優越的清潔能力加上其提供的高水平控制,使用戶能夠快速準確地清洗晶片,幫助他們以最高效、最具成本效益的方式生產高質量的產品。
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