二手 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658182 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON SS-4是一種精密的自動化晶圓和掩模洗滌器,用於半導體加工。它旨在最大限度地減少顆粒汙染,利用先進的洗滌器技術,以最高的效率和最小的磨損,從晶圓表面輕柔高效地去除堅固的顆粒,以及擦洗和清潔面罩組件。該單元是各種材料自動洗滌的理想解決方案,如晶圓步進器、光掩模、等離子體蝕刻系統、自旋清潔器和其他組件。該設備設計緊湊,由堅固耐用的不銹鋼構成,可確保長期使用的耐用性和可靠性。它還包含了一個最先進的軟件平臺,可以方便操作和靈活編程。TEL SS-4帶有直觀的用戶界面,包括用於正確導航和查看參數的大型觸摸屏顯示屏,同時提供有關擦洗周期的音像通知,以便於監控。利用集成的汙染監測傳感器,設備安全、準確地檢測到顆粒汙染並在達到必要的洗滌閾值時向用戶發出警報。先進的洗滌器采用高效的刷洗動作,為各種晶圓和面膜提供卓越的清潔能力。它還具有可調的磨砂方向、可調的磨砂壓力和可變的磨砂速度,可以進行優化以獲得最佳的磨砂效果。該單元包括多種類型的刷子,可以根據需要進行更換,如常規刷子、金剛石刷子和泡沫刷,以提高洗滌效率。TOKYO ELECTRON SS-4配備了一個集成的真空過濾器組件,可以捕獲粒子,有助於減少空氣中粒子的影響,並改善工藝質量和潔凈室環境。該系統還包括一個防止顆粒堆積的漿液過濾器、一個工藝水過濾裝置和一個有助於減少廢水排放的沖洗水機。此外,SS-4符合當前的CE和FCC安全法規,並且與現有的洗滌器和盒式磁帶系統兼容。它是一種高效高效的自動化洗滌器,提供卓越的性能和卓越的可靠性,使其成為任何半導體加工設施的寶貴工具。
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