二手 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293830624 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON SS-4是一種成本效益高的晶片和掩模洗滌器,利用自動化技術為微電子制造高效制備晶片和掩模。這種設備提供了一種在制造過程中使用晶片和掩模之前從雜質中清除晶片和掩模的有效方法。進氣部分配有裝載臺,放置要清洗的晶圓或掩模。然後,TEL SS-4使用專門的刷牙機構將碎片從晶圓表面或掩模提升到其集成洗滌籃中。這種洗滌系統旨在去除表面顆粒、被困在毛孔中的顆粒以及晶圓或掩模表面可能存在的其他碎片。為了確保最有效的清洗,TOKYO ELECTRON SS-4的洗滌單元采用了加壓空氣噴射和化學溶劑的組合。空氣射流的壓力有助於將粒子從重新進入的特征中移出,而溶劑則用於幫助分解任何殘留的碎片。這兩種方法的結合有助於松開可能牢固固定在表面的顆粒。一旦晶片或面罩被充分擦洗,它就被分配到SS-4的輸送帶上。TEL/TOKYO ELECTRON SS-4機設計符合潔凈室標準,使其成為在百萬分之10以下粒子的環境下處理晶圓和掩模的理想選擇。晶圓和蒙版洗滌的過程是一個精細的過程,需要精確的註意細節。TEL SS-4是為此目的而設計的;建造過程中采用的先進技術可確保有效地從表面清除顆粒,並將進一步汙染的風險降至最低。再者,TOKYO ELECTRON SS-4的自動化設計意味著它能夠在短時間內處理多個晶片或掩模,使其成為工業清潔的高效、經濟的選擇。
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