二手 TENNANT T5 #9311698 待售

TENNANT T5是一種晶圓和掩模洗滌器，設計用於半導體制造。它是一種可靠、經濟高效的洗滌設備,旨在最大限度地提高生產效率並降低晶圓和掩模清潔的成本。T5由一個電動晶片搖籃和一組執行器組成，包括一個橫臂底座、導輥和臂舉桿。自動轉臺驅動器設計成橫向移動晶片，並使晶片通過一個完整的360度旋轉。磨砂頭設計用來用磨料擦洗抗蝕劑和基材，完全清潔晶片而不會損壞基材。TENNANT T5通過用戶友好界面操作。用戶可以選擇任意數量的參數,例如壓力、速度和計時器設置,以實現所需的清潔性能。用戶還可以根據預定的晶圓大小或其他條件選擇讓機器自動停止和啟動。該機設計用於多層遮罩材料、手柄遮罩和晶圓尺寸可達450毫米,可重復性達到0.1微米精度。這樣可確保提高整個批次的流程一致性和統一性。T5采用濕洗滌工藝，可有效去除濕顆粒和基板，而無需烘幹機或重定向。這大大縮短了過程時間,同時提高了最終產品的質量和吞吐量。TENNANT T5融合了低壓制導、低壓預警、緊急聯鎖等內置安全功能。這樣可以防止晶片和/或掩模材料受到人身傷害或損壞。T5配備了數據收集系統，能夠對流程進行監控。該單元記錄操作變量,例如擦洗速度和壓力,以及晶圓/掩碼統計信息,使流程記錄能夠進行跟蹤。TENNANT T5是一款用途極為廣泛的洗滌機，旨在減少汙染，提高產量，最大限度地提高工藝文檔。該工具可確保晶片和蒙版清潔。它的效率和成本效益產生了對許多企業有利的整體經濟優勢。