二手 TOSETZ EX-007SU-DF #293629903 待售
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ID: 293629903
Scrubbers
(4) Chambers
NW40 Inlet
Flange exhaust, 6"
TEOS
SWAGELOK Nitrogen inlet, 14"
Capacity: 200 L/min
Make up water
Drain line
Water inlet: 3/4" Pipe
Power supply: 200 VAC, 30 A, 50 Hz, 3-Phase.
TOSETZ EX-007SU-DF是一種精密晶片和掩模洗滌器,旨在提供卓越的顆粒去除和汙染控制。這臺機器是為了滿足半導體制造過程關鍵應用的嚴格要求而開發的,包括3D傳感、先進的光刻、亞微米成像。EX-007SU-DF利用各種先進的洗滌技術,有效地清潔晶片和口罩,達到最高清潔水平,包括幹洗和濕洗,以及超聲波洗滌,以確保最佳的顆粒去除。TOSETZ EX-007SU-DF配備了一個集成的雙頭洗滌室,實現了濕洗和幹洗技術的利用。晶片和光掩模同時清洗,以清除最困難的顆粒和碎片,確保卓越的清潔度和汙染控制。此外,該室完全由不銹鋼制成,具有防水性能,完全安全用於濕洗。EX-007SU-DF還有一個強大的高壓空氣循環器,它能有效地攪拌洗滌溶液並清除室內的汙染物。這有助於提高洗滌過程的有效性,並消除了繁瑣和手動攪拌任務的需要。此外,TOSETZ EX-007SU-DF還配備了智能自動擦洗系統,使用戶能夠毫不費力地對擦洗任務進行編程和執行,而只需進行最少的幹預。洗滌周期也可以微調調整,以適應精致的材料。EX-007SU-DF設計用於處理各種基板,包括200 mm和300 mm晶圓載流子,以及尺寸可達200 mm的光掩模。這種洗滌器的靈活性使得一系列的基板可以快速準確地處理。此外,該腔室還設有按人體工程學設計的裝載腔室,以方便產品裝載。總體而言,TOSETZ EX-007SU-DF是一種先進的、最先進的晶片和掩模洗滌器,可有效地清潔晶片和掩模,達到最高清潔水平。其全面的洗滌技術清單,加上其強大的空氣循環器,使其成為半導體制造過程關鍵應用的理想之選。它的多功能性、易於使用的編程以及廣泛的底物兼容性使其成為任何洗滌應用的理想解決方案。
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