二手 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9179533 待售

ID: 9179533
Substrate cleaning system Cleaning options: Pressure / Megasonic nozzles Chemical dispenses Heated DI water Substrates: Upto 12” to 20” diameter.
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124是一款半自動晶圓和掩模洗滌器,設計用於滿足半導體制造中的高容量要求。該機器能夠擦洗多種晶圓和掩模組合,吞吐量高達每分鐘12個晶圓。UTE SCS i124提供對洗滌過程的精確控制,以確保高質量的結果,從而實現一致的設備性能。ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124有一個集成晶圓傳輸設備和一個專用傳輸臂。它提供了一個平滑可靠的過程,將晶片和面膜移動到洗滌器和清潔室內。洗滌器裝有一個幹燥站,以便徹底清洗。清洗過程可以調整以達到廣泛的結果,包括積極清洗有機顆粒、清洗氧化物層、氧化物蝕刻或翻新。SCSI124配備了三軸洗滌器模塊和自動清洗過程,允許從洗滌器快速過渡到幹燥或額外的洗滌器循環。洗滌模塊具有可調的清潔壓力和清潔速度,可精確控制清潔參數。ULTRA-T EQUIPMENT SCS i124由於洗滌器的可變清洗參數,無論晶圓表面如何,都能產生高質量的結果。UTE SCSI124還配備了先進的視覺系統,用於在洗滌前後監測晶圓和掩模的狀況。視力裝置的設計目的是探測和識別小至0.2um-7um範圍內的汙染物。視覺機提供對洗滌結果的實時反饋,允許處理人員在必要時即時進行調整。ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124在其設計中內置了多項安全功能。它采用主動監控的損傷/氧化檢測工具設計,能夠自動審計晶圓和掩模表面。機器提供的可選附件,如氮氣和濕度控制單元、旋轉樹皮、基於顏色的視覺系統和料鬥捆綁機,可實現更高效和更高產量的處理。SCS i124提供可靠、優質、高效的洗滌器。它易於維護,通過持續產生優異的效果,大大縮短了清潔周期的時間和成本。ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124是任何尋求通過精確晶圓和掩模清潔來最大化生產力的半導體生產環境的理想選擇。
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