二手 ULTRATECH 603 #88598 待售

ID: 88598
晶圓大小: 5"
High pressure spin cleaner, 5".
ULTRATECH 603是一種晶圓和掩模洗滌器,設計用於精確清洗集成電路(IC)晶圓和晶圓步進器。這種先進的清潔設備由專門生產半導體清理產品的石化工程公司ULTRATECH制造。洗滌器使用液體和空氣清潔技術來清潔光刻中使用的受汙染表面。它的工作原理是將清潔劑和液體的溶液通過晶圓或面膜泵送。然後用旋轉噴霧棒擦洗表面,方便汙染的溶解。603的占地面積很小,可輕松集成到現有的濕板凳或垂直處理系統中。單個噴嘴設計可確保在與可選的垂直攪拌系統配合使用時提供均勻的清潔和沖洗。此單元包括旋轉和振蕩運動,允許對所有暴露的表面進行徹底的清潔。ULTRATECH 603的創新設計包括一個不銹鋼洗滌器外殼,一個耐腐蝕的外殼,以及一個能提供高達每分鐘150升的強大泵器。該泵由精確計時器控制,以確保對每個基板施加適當的壓力。洗滌器還包括一個三點可調節的清潔站,可以讓你有效地為每個基板定制洗滌器參數。此外,603還提供安全方便的高級功能。將安全警報集成到設備中,以便立即將任何不安全的操作條件通知用戶。該單元還提供了一個自動快門機,當馬達運行時關閉,防止液體進入馬達腔室。可調排氣工具允許顆粒和其他碎片被整齊地收集在一個指定的隔間。ULTRATECH 603是清洗集成電路制造中使用的先進材料的絕佳選擇。它具有強大的泵和多種可調特性,能夠在廣泛的表面提供高效、均勻的清潔。此外,ULTRATEHC 603還具有安全和方便的功能,是任何需要高效可靠的晶圓和掩模洗滌器的人的理想選擇。
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