二手 ULTRATECH PC 602 #186831 待售
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ULTRATECH PC 602晶片和掩模洗滌器是一種用於半導體和微電子應用的用於清潔和洗滌基板(如光掩模和晶片)的自動化設備。它利用高度可靠的輸送機系統在整個過程中運輸基板,並提供最高水平的清潔精度、可重復性和準確性。PC 602 Wafer和Mask Scrubber采用模塊化概念設計,使工具集成、過程設置和數據管理變得容易。其用戶友好的界面為操作員控制、操作和監控過程提供了一種簡單易用的方法。洗滌器的智能工藝邏輯技術使底物參數、時間表和歷史記錄在整個清洗過程中得到強大的數據管理和追溯。ULTRATECH PC 602 Wafer和Mask Scrubber采用雙腔室設計,允許洗滌器連續循環在同一條線路上加工晶片,從而顯著提高了吞吐量和生產率。雙過程腔室的靈活性允許在同一過程中擦洗不同的基板,而無需手動切換。該設備還配備了一個全自動的工具「機械化」機器,以便於不同基板之間的轉換。該工具的華夫餅盒式磁帶提供了快速、方便的加載體驗,不需要夾緊或模具轉換。洗滌器還配備了視覺上載荷輔助和精確的載荷定位能力,用於精確的基板放置。PC 602晶圓和蒙版洗滌器配備了精密、高分辨率的氣動暴跌工具。柱塞在整個洗滌過程中提供均勻的壓力和精確的線性,並確保完美的工藝效果。洗滌器的設計支持各種晶圓尺寸、掩模尺寸和基材類型,提供無與倫比的靈活性和可擴展性。此外,ULTRATECH PC 602晶圓和蒙版洗滌器還具有多種安全功能,例如在電源斷開時自動關閉,以及在電源過熱或斷開時自動關閉。這些安全特性保證了資產符合行業安全標準,並將經受多年的可靠運行。PC 602 Wafer和Mask Scrubber是一種先進、可靠的洗滌面膜和晶片基板解決方案。其出色的靈活性、直觀的用戶界面以及對安全的關註確保了其可靠性和高性能。
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