二手 ASM 9000 #9360909 待售
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ASM 9000是晶圓步進器,一種用於半導體制造以創建集成電路的機器,或IC。它配備了高性能的光學器件,提供在軸上投影和二維對準芯片印記到晶圓。該設備采用框架布置,可實現各方向動態對準,提高芯片壓印工藝精度。該系統采用先進的步進發動機,它使用檢流計將加載到單元中的晶片移動,用戶可以對其進行調整,使晶片按照步進電機的指示移動。步進電機允許精確移動,最大速度可達10mm/s。9000晶片步進器還使用了最先進的曝光機將芯片圖像精確曝光到晶片上。它采用具有高通量的準分子激光器,提供高達3000晶片/小時的通量和高達0.6毫秒/行電路模式的掃描速度。它還采用了光束消光工具,以確保曝光過程中的高精度,以及一個完全封閉的激光室,以消除汙染。此外,資產允許用戶調整曝光功率和劑量。該模型還配備了可視化和控制設備,使用戶能夠監控機器操作,並能夠追蹤關鍵參數。該系統包含一個用戶友好的操作員界面,具有可靠的數據歸檔單元,便於維護和優化流程。在安全性方面,ASM 9000晶片步進器的設計是為了保證機器操作員和附近人員免受高強度激光束的危險暴露。它配有眾多的安全聯鎖、冗余的鑰匙系統,以及一個在緊急情況下帶有中斷保護的輕型窗簾。9000晶片步進器先進的設計和強大的性能使其成為大批量生產IC的理想選擇。其精度、準確性和過程控制能力使其成為生產技術先進的集成電路的可靠工具。
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