二手 ASM D1 #9399288 待售

ASM D1晶圓步進器是用於制造半導體集成電路的最先進的光刻設備。它主要用作掩模對準器，用於將二維電路模式傳輸到晶圓上，以便進一步處理。步進器獨特的設計確保了精確的對準，並以最小的運動使電路暴露於掩模模式。D1晶片步進器能夠處理各種基板尺寸，並配備了先進的視覺系統，使用衍射光柵和橢圓閃光燈來校正任何錯位。此外，視覺系統可以檢測任何太薄的層，並調整光源以堅持最佳曝光時間。ASM D1晶圓步進器也可以在一次操作中處理多層。它能夠使用各種各樣的材料，包括感光聚合物、薄膜和玻璃，有一個專門的可移動平臺控制晶圓對掩模圖樣的方向。晶片在曝光過程中保持靜止，允許出色的穩定性和分辨率。D1晶片步進器獨特的設計也提供了可互換光學功能的便利。為確保成像質量最高，為物鏡配備了防反射塗層、獨特的控制像差的冷凝器系統、可調透鏡以及多通道圖像傳感器。除了精度和精確度外,ASM D1晶片步進器的方便設計使其操作在最小的停機時間和最大的正常運行時間內保持一致。完整的可轉動級和可編程電機功能有助於提高工藝速度,同時提供平穩、可靠和一致的性能。總體而言，D1晶片步進器是用於大體積半導體工藝的優秀光刻工具。其強大的設計和可靠的性能非常適合實現高產量和確保生產的精確度、準確性和一致性。