二手 ASM WS 896 #9134186 待售

ASM WS 896是為經濟高效的生產而設計的最先進的晶圓步進器。該機采用了具有良好特征控制的弧形場照明設備，能夠以高精度生產微結構。該系統具有卓越的整體設計,快速高效,支持廣泛的應用程序。ASM WS896晶片步進器具有現場板設計和六腳架多軸運動單元,可實現高精度的對準靈活性和卓越的吞吐率。六腳架允許每個晶片獨立移動，並提供最大的穩定性和吞吐量。另外,步進器可以執行多種功能,如引導、定位和晶圓掃描。該機還具有高等級的光學布置，配有遠心透鏡工具，用於晶圓級圖像的設計和優化。這種光學資產確保圖樣被精確地投射到晶圓上，而狹縫徑向場有助於提高模型的性能和精度。此外,設備還支持復雜的曝光校正功能,可減少焦點和陣列錯誤並提高流程吞吐量。該系統還提供了廣泛的工藝和圖像控制功能，確保了高質量微結構的可靠生產。這些功能包括自動焦點中斷檢測、高級邊緣放置精度、群集放置控制和自動邊緣檢測對齊。此外，該單元還采用了多步補償器和自動模具旋轉，確保了微觀結構的精確放置。總之，WS 896是為經濟高效的生產而設計的最先進的晶圓步進器。該機具有卓越的設計、高品位的光學元件以及一系列的性能和控制特性,速度快、效率高,確保了高精度的微觀結構的可靠生產。