二手 ASM WS 896 #9159227 待售

ASM WS 896是由半導體行業生產設備領先供應商ASM Linx制造的先進晶圓步進器。步進器能夠對先進的CMOS、MEMS和MEMS-on-CMOS設備進行光刻工藝。晶片步進器配有強大的3軸電動機，確保器件之間的精確對準，確保晶片的高精度曝光。設備的4到6毫米光斑大小允許進行各種過程,從單曝光到柵極陣列過程。步進器還具有每小時500晶圓的最大曝光速度,從而提高了生產速度和吞吐量。此外，該系統還配備了先進的光學單元，可確保整個晶片基板的均勻照明，並確保所有掩模和結構的光子劑量均勻。這使得ASM WS896最可靠、最精確的光刻工具之一。步進器還具有一整套有助於減少生產誤差的對齊和模式檢查功能,以及內置的交叉定位機,以實現最高的精度。該工具配備了一種先進的CCD監視器，可以調整和優化資產參數。WS 896還具有EasyRun蝕刻控制軟件，允許精確的蝕刻過程，如幹蝕刻，以及濕蝕刻。Etching控制軟件允許使用全局高級蝕刻參數,例如蝕刻角度、蝕刻速率和蝕刻速率保護。此外,WS896采用低振動步進器設計,降低了產生的噪聲水平,使模型適合工業使用,並提高了刀具的性能。該設備還具有許多安全功能,例如溫度監測、電源噴射和多個用戶可設置的安全限制。總體而言，ASM WS 896晶片步進器是一種功能強大、可靠的光刻工具，具有廣泛的特性和功能，適合廣泛的應用。從晶片的生產精度暴露到蝕刻和工藝優化，該系統為各種生產需求提供了可靠、高精度的解決方案。