二手 ASM WS 896 #9181638 待售

ASM WS 896是一種晶片步進器，使用最先進的光學微光機來曝光和開發用於大容量IC和MEMS生產的晶片。設備包括多軸晶片處理系統、集成曝光子系統、高級工藝監控單元和全自動晶片清洗站。步進器使用每秒300毫米的速度（帶有加速度/減速曲線）,以確保在一定範圍的晶圓尺寸上具有準確和高的吞吐量模式。此外，激光引導定心映射晶片的外圍邊緣，以獲得最佳的放置精度。ASM WS896具有高分辨率晶圓定位機,允許大範圍掃描以適應多種曝光技術。其掃描光學設備包括具有消色差透鏡和兩個曝光源（g-line和i-line）的可變數值孔徑投影。該工具還配備了先進的多區域級，與閉環的掃描儀到階段同步資產集成在一起，以提高準確性。該模型采用先進的TTL和TTL以及可選的二進制校正對準技術，用於校正光刻誤差並確保高精度的圖案放置。自動化的散裝設備還確保有效的晶片裝卸，以提高吞吐量。在過程監控能力方面，WS 896配備了專有的成像和臨界維度（CD）計量系統。此單元監視每個模具的曝光前和曝光後圖像,以自動識別缺陷。此外，還使用基於光學的工藝控制機器來監測凹版和非凹版工藝，並檢測工藝漂移。該工具還能夠使用幹式濕清洗工藝自動清洗暴露的晶片。此過程可以清潔晶片表面,而不會產生其他缺陷,從而提高晶片的產量和質量。總而言之，WS896是一種高性能晶圓步進資產，可用於高容量的IC和MEMS生產。它具有高精度的晶圓定位模型，允許大範圍的掃描，並利用閉環對準設備提高精度。該系統還配備了成像和CD計量單元、自動晶圓清洗站以及基於光學的過程控制機，以確保過程的穩定性。