二手 ASM WS 896 #9302497 待售

ASM WS 896是一種用於半導體制造工藝的高端晶圓步進器。它是一種DUV掃描步進器，具有更高的終端分辨率和速度容量，允許更精確的操縱晶片。ASM WS896提供精確的放置精度和高達0.5 um的均勻性。它具有高達9英寸的非常寬的掃描字段,可提供非常精確的處理操作。它還提供高達每小時16個晶圓的高吞吐量速率，非常適合大型生產運行。WS 896內的光學設備使用兩臺激光幹涉儀，為標線和晶圓表面提供精確定位，減少俯仰誤差。掃描系統利用線性驅動器來確保在整個磁場上的平滑運動。晶片的定位精度在1.5 µm以內，適合最精確的操作。WS896具有多種功能,例如內置對齊單元,可讓用戶快速準確地對齊電路。它還配備了雙光束制圖機和預銳化功能，確保在標線準確和均勻成像。此外，該晶片步進器具有內置的環境控制工具，可以更好地控制加工室內的濕度。ASM WS 896是任何半導體生產設施的理想選擇，因為它能夠在相對較短的時間內生產出具有均勻性和精確度的高質量晶片。它也是用戶友好的,因為安裝只需幾分鐘,而且只需要最少的維護。ASM WS896具有智能光學資產和廣闊的視野,可用於各種應用,從基本制造操作到更復雜的成像系統。