二手 ASML 100D #293817343 待售

ASML 100D是一種晶片步進器或光刻機，用於在半導體制造過程中為半導體晶片創建更精細的細節圖樣。該機器與晶片基板上的光敏塗層結合使用，該塗層與機器光學器件發出的光反應，將電路圖樣設計投射到基板上。ASML/ 100D能夠產生極精確的圖樣圖像,分辨率可達0.25 μ m或250 nm。機器的投影光學器件基於運動學鏡設備，在投影圖像的大小、形狀和方向上提供了充分的靈活性。光學系統用於調整圖樣圖像在5 μ m到200 μ m之間的大小，所有軸的俯仰精度為0.5 μ m。100D具有集成的直接晶片對準、大孔徑單元光學器件和0.5 μ m的圖像步長等特點,可實現最大性能和靈活性。該機具有多級慣性級，在整個晶圓掃描周期內提供高精度和平滑的運動， 晶片夾具的建立是為了減少晶片上的機械應變。/100D還具有增強的抗蝕劑均勻性機器,它可以修改抗蝕劑層內的圖像,以解決失真、有害的漏光或其他過程級變量。此功能使用戶能夠將晶片陣列中的關鍵尺寸保持到最小的特征大小。這臺機器能夠加工直徑達200毫米的晶片，而高端型號的曝光時間為0.5秒，這使得基材的加工速度非常快。ASML 100D還支持圖像形狀和大小的多級控制,以及用於對齊晶片和可重復優化與基板表面的模式對齊的高精度階段。ASML/ 100D是一臺功能強大的光刻機,為半導體制造提供了前所未有的精度和精確度。其先進的設計使其成為業界高端制造和生產流程的熱門選擇。