二手 ASML 2500/40 #293827878 待售
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ASML 2500/40是晶圓步進器的一種型號，晶圓步進器是一種用於生產半導體集成電路（IC）的光刻機。它可以用來在矽晶片上打印基本和復雜的圖樣，矽晶片是IC的基板。該設備采用串聯電子束源掃描儀系統供電。此源掃描儀能夠生成分辨率高達2500nm的高精度40kV。晶片步進器由四個主要元素組成：串聯源掃描儀、光學柱、舞臺和軟件單元。串聯源掃描儀具有精確的控制機制，提供了模式轉移所需的電子束。其對準精度為± 20um,光斑尺寸精度為± 3um。光學柱由多個透鏡和一個光束定義光圈組成。它負責控制電子束的投影和晶圓上的圖樣形成。其對準精度為5um ±，分辨率為0.50um。該級提供晶片的精確平移和旋轉運動。其線性運動精度為0.50um，最小步長為0.001um。軟件工具用於設置圖樣並將其傳輸到晶圓上。ASML 2500/40步進器旨在滿足先進IC生產的需求。它具有快速的吞吐量速率和大量高級功能,如圖像縫合、高級冷卻系統、獨特的圖像校正算法和自動優化。其堅固的設計也確保了機器即使在惡劣或不利的條件下也能繼續在峰值性能下運行。2500/40晶圓步進器是制造高度先進的IC的寶貴工具。它能夠高精度打印復雜的圖樣，同時保持高吞吐量和高質量。通過利用這項技術，半導體公司可以生產出高度可靠和耐用的芯片，並且能夠滿足不斷增長的電子行業的需求。
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