二手 ASML 2500/40 #293828001 待售

ASML 2500/40是由光學光刻設備技術領先者ASML生產的最先進的晶圓步進器。ASML 2500/40使用先進的光學器件來成像，並以極高的精度和分辨率將圖樣投影到矽晶片上。2500/40擁有19個獨立軸,提供完整的恒星和傾斜/旋轉控制,用於在光刻過程中檢查和調整晶圓。機器的核心是多軸萬向節式鏡子和432段投影鏡頭組件。設備運行溫度為10C-30C，真空整流系統維持所需的壓力環境。投影透鏡使用氟化氙激光器將圖樣精確投射到矽片上。2500/40使用全場照射來創建特征大小從0.2微米到40.5微米的高精度圖樣。機器還包括晶圓對齊、缺陷管理、配方開發等幾個自動化過程。ASML 2500/40能夠在不到30秒的時間內采購晶圓,生產吞吐量高達每小時500晶圓。為確保高性能,ASML 2500/40配備了先進的波長單元,可控制X/Y偏振光,從而改進圖樣放置、叠加和抵抗響應。一個獨立的照明機器提供了優化的成像保真度和對比度。該工具的一部分還包括復雜的實時故障檢測和校正算法，以確保最佳性能。2500/40是為高精度和高通量光刻作業而設計的最先進的晶圓步進器。2500/40具有多軸設計、高品質光學和先進的自動化功能,提供了無與倫比的準確性和可重復性。這一高效可靠的資產非常適合各類現代半導體制造，使其成為精密快速生產集成電路的有力工具。