二手 ASML 2500/40 #293828002 待售
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ASML 2500/40晶圓步進器是一種精密的半導體光刻設備，專為大批量生產集成電路而設計。它是一種專用的步進重復步進器，精度極高，效率極高。該系統由四大子系統組成：一個光刻模塊、一個舞臺模塊、一個機械手模塊和一個數字計算機控制單元。光刻模塊用於正向傳輸抗蝕劑塗層晶片的數據。它包含一個投影機，一個光掩模，和一個照明源的最佳圖像傳輸。舞臺模塊由舞臺底座、X-Y-θ機械手和鏡頭工具組成。用於驅動投影光學器件進行正確、精確的圖像傳輸。機械手模塊用於來回移動晶片，提供了最大吞吐量的快速掃描能力。數字控制資產由高速處理器、通信接口和軟件包組成，為用戶提供最佳性能和卓越服務。它提供了用戶和模型之間的最佳界面。該設備還具有雙波束功能，以確保最大限度地減少寫入時間和晶圓失真。ASML 2500/40晶圓步進器的高級特性和卓越的精確度使其成為需要高端光刻解決方案的組織的理想選擇。此高性能系統可實現高達每小時175個晶圓的速度,從而提供最大吞吐量。閉環控制機保證了裝置的高精度幾何性能，提供了準確、可重復的成像。2500/40所使用的高品質鏡頭具有動態對焦調節、離軸圖像傳遞、精確離軸激光對準等特點。2500/40 Wafer Stepper還配備了頂端的光掩模更換器，可以在不影響光學性能的情況下快速交換口罩。此功能消除了透鏡聚焦漂移引起的潛在晶圓打印缺陷。最後,為確保操作和維護方便,該工具配備了高級用戶界面、診斷和修復功能以及自動校準例程。
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