二手 ASML 2500/40 #9004040 待售

ASML 2500/40是由領先的半導體設備制造商ASML開發的先進晶圓步進器。它旨在優化用於制造集成電路和微處理器的光刻工藝。步進器具有快速響應、精確移動、高模式精度和減少循環時間的特點,使芯片制造商能夠進一步提高其設計的尺寸、速度和復雜性。ASML 2500/40具有245mm掃描字段、56nm的有效分辨率和每小時1400晶圓的吞吐量。它與所有主要的掩模尺寸和材料兼容，能夠0.18°弧秒可重復性和0.8nm精度。該設備采用ASC 200 Z-tilt技術，允許面罩級水平、垂直和旋轉運動，以提高工藝性能。步進的緊湊型DUV照明系統使用DUV/157nm輻射，實現高分辨率成像，同時減少功耗和足跡。它包括光學單元、光學路徑、投影透鏡、狹縫、光束偏轉器等先進的光束傳遞元件。狹縫組件提供紅外光保護，設計用於極端溫度條件。2500/40在網絡環境中運行,並配備了基於Web的圖形用戶界面（GUI）。這樣可以輕松訪問和調整設置,以實現最大的流程控制和正常運行時間。該機還具有工具管理和數據分析功能，可追溯和質量控制。2500/40是一種可靠且高度先進的晶圓步進器,旨在支持功能尺寸不超過56nm的復雜設備結構。ASML 2500/40采用雙級校正技術、高度精確高效的照明工具和先進的工具管理功能,以最低的每晶圓成本提供了前所未有的性能水平。