二手 ASML 4022-436-46005 #172297 待售

ID: 172297
Wafer and reticle stage rack.
ASML 4022-436-46005是一種用於集成電路生產的頂級晶圓步進器。它是一臺8英寸晶圓對準機,能夠通過使用自動六軸控制器和精密線性刻度將扁平晶圓定位到高精度。這臺機器的功率和精度使其在集成電路的批量生產中發揮了關鍵作用,確保了每個電路在晶圓上的精確放置。4022-436-46005擁有高精度光學設備,能夠測量低至0.5微米的距離,並具有功率聚焦離子束光刻系統。晶片放置在舞臺上,步進器測量表面的平坦度並自動執行對齊計算。然後,機器人手臂根據這些計算將晶片移動到所需的位置。投影的離子束在橫跨晶片表面掃描時反復關閉和打開。對光束進行調制,以精確地再現電子設計自動化軟件產生的圖樣。ASML 4022-436-46005還能夠在晶圓和舞臺之間產生一致的接觸電阻。這是通過精密真空裝置實現的,該裝置將晶片吸到步進器上,並確保晶片始終承受一致的壓力。這樣可以確保電路的精度和質量在生產過程中保持一致。4022-436-46005采用先進的安全機器,以確保零件和機器的完整性。這包括防止接觸加工過程中發出的磨損顆粒的安全門。機器內部塗有一種特殊的化學物質,可以防止靜電和電磁幹擾。晶片步進器還包括特殊的功能,使它能夠自我診斷任何潛在的問題。此外,對自動清洗工具、電源等電子設備通過不斷監管進行監控和維護。最後,ASML 4022-436-46005配備了易於使用的軟件,使其能夠快速適應不同的部件、材料和外形規格。這有助於確保最小停機時間和最大吞吐量,使其成為任何生產線的關鍵組件。
還沒有評論