二手 ASML 5000 / 55 #9049734 待售

ASML 5000/55是用於生產半導體產品的晶圓步進器。它是一種高度先進的基於光刻的工具，能夠將微小的特征成像到基板上。ASML 5000/55是一種電子束（e-beam）光刻設備，利用掃描電子柱和兩級光學器件在晶圓或晶片上成像圖樣。電子束柱利用高壓光束將電子聚焦和偏轉到一個表面上，在那裏創建圖像。光學階段放大並聚焦光束以創建分辨率極高的圖像。5000/55具有小至4nm的成像特性大小,這對於開發越來越小、速度更快的微處理器至關重要。它專為大批量生產而設計，可處理高達6英寸的晶圓，循環時間每晶圓少至5秒。該系統由幾個單獨的組件組成，包括電子柱、光學級、束罩和光學百葉窗、真空系統和晶圓傳輸單元。電子柱是用於創建和引導電子束的高壓電子、電磁體和元件的精密機構。光學級利用各種元素來確保光束的操作方式使其在基板上創建所需的特征。光束罩和光學百葉窗用來限制光束和基板之間的相互作用點，而真空機則創造了理想的低壓成像環境。最後,晶片傳輸工具與光學百葉窗配合使用,可確保基板在成像過程中牢固地固定到位。5000/55的占地面積不足6平方米,對於其能力的資產而言,它被認為相對緊湊。它易於安裝和操作，但創建必要的真空環境和保持柱內高壓所需的復雜力學和工程需要一些技術專業知識。