二手 ASML 5500 / 100 #9040162 待售

ASML 5500/100是用於生產計算機芯片的晶圓步進設備。該系統能夠在光刻過程中將信息從掩模或標線精確傳輸到晶圓。該單元能夠在用戶幹預最少的情況下準確、一致地傳輸信息,從而實現半導體元件的高質量和高效生產。ASML 5500/100采用六軸設計,具有6個獨立的機動化部件,傾斜和側傾僅犧牲2個運動軸。這樣可以使基板平滑地移動到目標成像位置，比以往任何時候都快。它能夠處理300 mm以下的基板,圖像尺寸可達6.2mmx6.2mm。該工具還具有0.7um x 0.7um的最大視場，分辨率為0.1um。該資產提供高精度的光學服務,如光學成像、光學陣列和掩模對準。光學成像能夠將圖像從一個基板傳輸到另一個基板,而光學圖樣化提供了對圖樣化信息的連續、高精度跟蹤。高精度的掩碼對齊能力確保了模式的精確再現。除了光學服務外，該模型還能夠提供曝光控制服務，確保掩模或標線準確、一致地暴露於基板。該設備使用幾種類型的波前傳感器來檢測波前的像差和失真，從而可以在曝光過程中進行校正。總體而言，5500/100是先進的晶圓步進系統，能夠提供高精度的光學服務和曝光控制功能。它能夠將圖像從一個基板精確傳輸到另一個基板，從而在用戶幹預最少的情況下實現半導體元件的一致生產。