二手 ASML 5500 / 100C #9032667 待售

ASML 5500/100 C是晶圓步進器，是一種光刻機，用於半導體製造。這臺機器使用一系列鏡片和鏡子來創建圖像，然後將圖像傳輸到晶圓。ASML 5500/100C是一種高分辨率的模型,能夠產生非常精細的圖像,從而能夠制造出具有高性能規格的設備。5500/100C可以通過將圖像傳輸到最大曝光尺寸為100毫米的晶片上來產生頂級光刻。它配備了160毫米和200毫米自動對焦投影鏡頭，使各種圖案和基板的打印具有高精度和重復性。5500/100C還具有兩個高分辨率口罩,一個用於1倍,一個用於5倍,可創建8級照明級別。光學設備與TwinMotion級集成在一起,該級最多可容納三個晶片,並且在暴露晶片和未暴露晶片之間移動時允許高通量。此外，ASML 5500/100C配備了能夠將晶片精確定位到所需坐標的高精度級定位系統。這是借助內置的電機編碼器完成的，該編碼器提供了舞臺位置的精確反饋。該機還配備了CCD攝像頭，以便能夠精確地捕捉圖像。ASML 5500/100C具有低真空環境，有助於降低大氣中塵埃顆粒的影響，以及低溫環境，確保鏡片和鏡子保持在指定的公差範圍內。5500/100 C還配備了多流程集成程序、用於跟蹤生產的數據記錄單元、實時反饋的自動化監控機等高級功能。總體而言,5500/100C是一種高質量、高分辨率的晶片步進器,它提供了一系列功能,可提高高端光刻的準確性和可重復性。ASML 5500/100 C具有廣泛的功能,能夠制作精細的圖像,為生產高性能半導體器件提供了可靠的解決方案。