二手 ASML 5500 / 60 #9092942 待售

ASML 5500/60是半導體生產中用於光刻的晶圓步進器。它是一種高度精確的自動化成像設備，用於塑造半導體芯片表面的集成電路和其他微觀特征。這臺機器基本上是一臺大型顯微鏡，用於將電路和其他模式精確地暴露在晶片基板上。光掩模對齊並聚焦在主體晶片上，並通過石英光窗有選擇地用光源曝光。產生這種模式所需的精確度需要錯綜復雜的對齊和巨大的精確度，5500/60配備了一系列技術來實現這一目標。ASML 5500/60配備壓電直線級機構，以微米級分辨率提供平滑的線性運動。幾種補償方法和傳感器使精密運動成為可能，包括編碼器輔助級控制器、幹涉級步進和光電聚焦檢測，所有這些都使機器能夠將圖樣精確傳輸到晶圓上。該系統還配備了自動對準裝置，將掩模與晶片進行比較，以確保準確放置。在處理過程中,5500/60具有各種光源、數值孔徑和曝光時間,可輕松配置和調整。機器進一步配備了一個平行於基板表面移動的專門層流級，增加了水平，並允許光學器件通過不同深度的可變懸垂。ASML 5500/60還配備了強大的安全功能,例如緊急關閉系統和自動檢索功能,這些功能可以在發生任何幹擾晶片傳輸的情況下將對象晶片快速帶回起始位置。其他功能還包括圖形用戶界面、內置絕緣和環境控制、主動減振以及用於增強質量控制的曝光後圖像分析。總之，5500/60是一種用途廣泛、精密的晶圓步進器，用於塑造半導體芯片表面的集成電路和其他微觀特征。該機器配備了一系列復雜的運動、對準和安全功能,所有這些功能都可以實現高效的協作光刻工藝。