二手 ASML AT 1100 #293664232 待售

ASML AT 1100是為當今領先的半導體制造商設計的高精度晶圓步進和光刻工具。它利用先進的技術在分辨率為0.6微米的半導體晶片上繪制微小的特征圖樣。4軸掃描儀將標線對準晶片級，可以覆蓋2英寸（50.8mm）到12英寸（304.8mm）的範圍。機器的平行多軸空氣軸承設計允許精確的對準和運動控制的標線和晶片。利用短波長浸入式光刻技術可以進一步縮小特征尺寸。采用矽浸入式透鏡的兩場光學設計能夠使焦距減小6倍。這可以使特征更緊密地排列在一起。另外，兩場光學設計提供了0.93的高數值孔徑，這導致了更快的循環時間。AT 1100是一個由ASML ACE軟件提供支持的交鑰匙系統。它利用來自均勻性、強度和多層能量均勻性算法的最佳激光源特性來實現最佳的紫外線暴露。它也使用TML（Time Modulated Laser）系統來減少在激光照明中常見的熱感應失真。ASML AT 1100還通過其放置監視器（PM-1）和晶圓級計量提供了先進的叠加性能和準確性。本機X/Y位置精度為4nm, Z為 2角,Z為5nm,以確保曝光時的最大精度。該機器配備了一個集成的電動對齊器，可提供快速、準確和可重復的對齊方式，而無需手動調整。為了保證最高的可靠性和吞吐量,AT 1100配備了智能服務模塊,可以檢測小問題並提醒操作員。此外,還集成了一整套流程監控和審核工具,以最大程度地控制流程。總之，ASML AT 1100是為半導體應用而設計的精密晶圓步進器，分辨率為0.6微米，並具有TML系統和集成共對齊器等先進功能。由於其智能的服務模塊和過程監控功能,該機器具有很高的準確性和可靠性。AT 1100是制造半導體晶片的可靠、能幹的選擇。