二手 ASML AT 1100 #293813215 待售

ASML PAS 5500/1100是由全球領先的光刻成像系統供應商ASML制造的功能強大且高度先進的自動化晶片步進器。它旨在為大規模生產半導體器件，如集成電路（IC）執行精確、可重復和經濟高效的光刻工藝步驟。PAS 5500/1100是一種獨立的光刻設備，可以容納各種各樣的半導體技術。它具有高達1500晶片/小時的掃描速率,可提供出色的吞吐量和成本節約。ASML PAS 5500/1100還擁有高級成像器和一套高級成像工具,包括模式匹配和缺陷檢查功能,以實現最大的圖像質量。它能夠以4 μ m或更高的分辨率產生高質量的圖像,最小線寬為0.1 μ m。PAS 5500/1100的自動化環境使其能夠快速準確地跟蹤流程流程並優化生產流程的每個步驟。它包括強大的軟件工具和晶圓映射功能。這可用於確定特定工藝的最佳配方或調整參數以改變條件。此外，系統的單元控制技術提供準確的位置映射和漸進式診斷，以確保晶圓精度。ASML PAS 5500/1100還提供了廣泛的安全功能,確保操作員安全並保護機器免受可能的損壞。該工具的高級安全功能包括快門覆蓋的曝光端口、探測器自動檢測以及防止過度曝光或未對準的單缸屏障資產。此外，PAS 5500/1100包括一個集成的視覺模型，為優越的模式匹配提供快速和準確的對齊。最後,ASML PAS 5500/1100是一種功能強大且經濟高效的晶圓步進器,能夠快速準確地生成準確且可重復的模式。它提供了廣泛的先進成像工具和安全特性，使其適合大規模生產高端半導體產品。PAS 5500/1100具有強大的設計、卓越的成像分辨率和免維護操作,非常適合許多光刻應用。