二手 ASML AT 1150 #293664233 待售

ASML AT 1150是一種頂級晶圓步進器,可幫助制造商為電子行業創建微型電路組件。步進器能夠自動、精確地將圖樣暴露在生產過程中使用的晶片表面上。步進器以高精度運行，使其成為用於數據芯片和微處理器等產品的電路和組件的商業生產線的重要組成部分。該設備是圍繞一個高度先進的兩級光學系統建造的，該系統基於一個雙「Nipkow」圓盤和一個DUV（深紫外線）光源，該光源的最大分辨率為4.5納米，並有可能在晶圓上形成極小的圖案。因此，步進器的平版印刷輸出質量極高。步進器還使用低噪聲平臺操作，並利用一組高精度的線性電動機級在曝光臺階之間移動X、Y和Z軸中的晶片。這確保了各種結構層次的精確對齊。還包括一套全面的數字控制功能，如Z軸運動參數、曝光時間和幾個對齊級別。閱讀器可用於測量晶片周長排列的對準標記、LWD（線寬加倍）檢查、焦點檢測和空中成像,以評估和表征過程結果。還提供了一個用於完全標線平移功能的索引器,用於在整個晶圓形狀和大小上實現掃描曝光的無與倫比的均勻性。此外，AT 1150設有廣泛的單位安全功能，並提供多層密碼保護機。所有這些使得ASML AT 1150成為大容量生產內存晶片、邏輯晶片、DRAM晶片、非易失性內存晶片等高端電路的最佳選擇。