二手 ASML AT-1150C #293617267 待售
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ASML AT-1150C是一種晶圓步進器，一種用於半導體操作的機器。它設計用於進行光刻，一種用於在半導體器件上產生圖樣的攝影。ASML AT 1150C是一種全自動設備,設計用於處理直徑為2英寸和6英寸的晶圓,處理吞吐量高達每小時150個晶圓。它具有FPD-LBA聚焦對準子系統和可重復性定位系統。AT:1150C配有步進電機和標準機器視覺算法，用於檢測晶圓對齊標記和精確定位晶圓進行測序。該機還提供自動聚焦控制，以確保聚焦光掩模與晶圓對齊，以及自動的標線交換功能。AT-1150 C旨在降低曝光成本和處理時間,同時提供卓越的圖像質量。它具有高速光學單元和計算機控制的標線前進機，這兩者都保證了運行多次曝光時的準確性。它還有一個自動卡帶工具，允許最多50個晶圓在一次同步操作中加載到其中。該機還包括一個集成的晶圓檢測資產，用於實時監控，具有可變掃描大小和分辨率。此外,該機器符合ASML質量和可靠性計劃的要求,從而確保了卓越的性能。總之，AT 1150C是一種最先進的晶圓步進器，旨在提供卓越的圖像質量、高吞吐量和低成本的操作。它與每個盒式磁帶最多50個晶片兼容，包括用於自動對準和焦點控制的高級功能，以及集成晶片檢查。吞吐量高達每小時150個晶圓,並符合ASML可靠性計劃,可確保最佳質量和性能。
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