二手 ASML AT-1150C #9226883 待售

ASML AT-1150C是為生產較小的半導體器件如MEMS、QFN和LED封裝而設計的高精度晶圓步進器。該設備具有5.5英寸的視野,即使是圖像保真度最高的最復雜結構也能成像。其5X還原光學元件的高數值孔徑（NA）為0.60,加上基於步進的衍射還原,在整個視場上的分辨率為1.3微米。系統分為三個組件：光學單元、控制器和陣列發生器。光學機器由空間濾鏡、舞臺、物鏡、照明器和對準器組成。舞臺連接到控制器,用於精確對準物鏡下方的樣品。對齊器用於調整物鏡的角度方向，以精確定位成像工具。控制器用於控制和管理整個資產,以及存儲生成的模式。模型的模式發生器組件基於激光源並生成高分辨率模式。它可以在整個視場上生成分辨率為0.5微米的衍射受限圖像。這一特性，加上5X還原成像和高NA光學，使得它非常適合生成高圖像保真度的復雜結構。這款設備高度可定制，可以配置多個鏡頭、溫度控制器、各種測量設備等不同選項。它還與行業標準軟件集成,用於掩碼對齊和模式生成。該系統采用的技術先進，極具可靠性。該單元設計為不間斷運行,維護成本較低。這臺機器具有高產能力,能夠產生各種格式的優秀圖像。綜上所述,ASML AT 1150C是一種世界級的晶圓步進工具,專門設計用於以最高精度生成高精度和高質量的圖像。其先進的光學、高分辨率的模式發生器以及各種可定制的特性，使其成為生產復雜結構的理想選擇。