二手 ASML AT-1150C #9292620 待售

ASML AT-1150C是一種晶圓步進器或光刻機，用於半導體和其他工業生產集成電路和其他器件。步進器利用先進的光學技術，包括汞蒸氣燈、激光、紫外線和近紅外LED光學器件，將一組圖樣和藍圖精確投射到晶圓或類似材料的表面上。晶片步進器由主體和光學頭兩大部分組成。主體包括四軸設備，隨著晶圓從光學頭來回傳遞，在水平、垂直、傾斜方向提供精確的運動。它包括一個底板、精密旋轉晶片臺、進給機構和光學頭推動器，所有這些都使用五相混合電動機來保證晶片的精確定位和傳遞。光學頭包含一個短弧燈、光學透鏡系統、虹膜和三個光學鏡。它用於集中來自燈的光束，並投射一組蝕刻圖案到晶圓表面。ASML AT 1150C支持多種投影配置文件,使其可用於多種電路類型。它有一個自動對準單元，利用數值算法和光學定位的組合，快速調整光學頭到每一個圖案或藍圖的正確焦點位置。此外,步進器還可以針對各種功能進行編程,如層曝光、晶圓校驗參考點、晶圓分析和工藝優化。與專用晶圓映射計量機配合使用時,AT:1150C能夠在芯片設計布局中實現0.5 µm的分辨率和0.3 µm的精度。它配備了激光對準技術，如多場對準和基準對準，以減少芯片設計中的錯位誤差。該機采用自動化過程控制監控器，可以測量晶圓厚度、塗層和圖樣缺陷。ASML AT-1150 C的循環時間僅為12秒,能夠快速高效地生產高質量的芯片設計。該機也節能，在峰值性能時只需要0.7 kW的功率。它密封的機身和無塵的設計使得它非常適合需要潔凈室處理的應用。此外，步進器還配備了安全系統，如緊急停止開關和中毒百葉窗，在緊急情況下可以很容易地打開。