二手 ASML AT-1150C #9412396 待售

ASML AT-1150C是半導體工業中用於光刻的先進曝光工具。它是為高速、高吞吐量和低擁有成本而設計的最先進的晶圓步進器。ASML AT 1150C利用先進的光學器件、高度穩定和精確的檢查設備以及獨特的晶圓處理系統進行自動、無人操作。AT:1150C包括三個主要組件：光學單元、檢測機和晶圓處理工具。光學設備采用6.0mm波長的蒸氣汞曝光源以及脈沖噴霧掃描模型。這提供了高分辨率的曝光能力,精度為1.5 nm,圖像字段為215mm × 215mm。該檢測設備基於實時掃描系統，該系統利用象限檢測器陣列和像素內檢測器。該單元能夠監測曝光過程的每一個元素，並能夠創建晶圓的詳細地圖。最後，晶圓處理機設計為提供自動化的無人操作，總體擁有成本較低。它利用一個不銹鋼軌道，最多支持四個晶圓，並且可以用多達19個用戶定義的程序進行預編程。AT-1150C能夠處理薄膜、多層薄膜和所有類型的晶圓基板,如石英、矽和金屬。此外，它還配備了一個層對晶片對準工具，用於精確的晶片定位，減少曝光時晶片的失準。它還配備了防汙染維護資產，可以處理小至0.2 µm的顆粒。總體而言,AT 1150C是一種高級曝光工具,旨在滿足半導體行業通常嚴格的要求。其先進的光學、檢測和晶片處理系統使其成為高速、高吞吐量和低擁有成本操作的理想選擇。