二手 ASML AT 1200 #9293661 待售

ASML AT 1200是用於集成電路制造的一種晶圓步進器。它使用光刻技術在晶片上創建圖樣，然後將其用於形成集成電路的各種組件。該設備包括一個固定臂（固定基板）和一個可移動臂（可移動臂），該臂攜帶用於將所需圖樣傳遞到晶圓上的光掩模或標線。ASML AT-1200利用模式生成器，使用一系列光敏探測器來精確控制標線的位置。整個系統位於一個閉環伺服單元上,它可以精確地移動臂。這使設備能夠快速掃描晶圓上的標線以準確傳輸圖像。為確保將圖像精確傳輸到晶片,AT 1200包括透鏡檢查（TTL）機器。它由位於投影工具前面的成像相機組成。當圖樣掃描到晶片上時,成像攝像機會檢查圖樣是否準確。如果發現任何不準確之處，將通過資產控制軟件的智能自動糾正。AT-1200利用多種掃描方法,包括行掃描、270度掃描和矢量掃描。根據電路設計的復雜性，將采用不同的掃描技術來確保最高精度。為了確保模式準確、一致地傳輸到基板,ASML AT 1200還包括一個可編程曝光監視器和一個數字圖像處理器。與其他ASML步進器一樣,ASML AT-1200包括一系列診斷和維護工具,可幫助技術人員及時識別和修復計算機的任何問題。該模型還為用戶提供了不同級別的自動化，從手動到全自動晶圓處理。總體而言,AT 1200是一種先進且用途廣泛的晶圓步進器,為制造商提供各種用於集成電路設計的掃描和成像選項。其閉環伺服設備、TTL系統和可編程曝光監測器可確保向基板準確、一致地傳輸圖樣。該設備還提供了一系列維護和診斷工具，以保持機器處於峰值運行狀態。有了這些特點，AT-1200是制造集成電路的理想機器。