二手 ASML AT 1200 #9360855 待售

ASML AT 1200是晶圓步進機，一種光刻光學對準設備，用於生產半導體集成電路（IC）。它使用透鏡、鏡子和其他光學元件將圖樣化的圖像暴露在矽片上。ASML AT-1200還能夠在一次曝光中生成多個陣列層,從而加快整個制造過程。AT 1200采用了一系列先進的元件，以確保晶圓上圖案的光刻掩模精確、可重復對齊。它使用兩個分辨率為0.1 μ m的同步伺服驅動器掃描儀,以獨立方向精確移動晶圓和掩碼。內部平衡系統和三軸加速度計也可用於檢測和調整遮罩位置的任何不平衡或傾斜,從而使設備能夠快速校正而不會停止曝光。AT-1200使用兩個光學器件，一個投影透鏡和一個晶圓透鏡，將來自掩模的光聚焦到晶圓上。這些透鏡允許光刻面罩的光以高精度投射到晶片上。此外,還集成了一臺高級測光機,可根據掩模在多次曝光時發出的功率水平的任何差異進行調整。ASML AT 1200晶圓步進器還與光、空氣和真空系統集成在一起，以確保工具的最佳對準和操作。該光資產提供節能照明，包括為每個集成電路的層設計定制的光掩模和為晶圓透鏡調節光的入射角以實現最佳曝光的激勵器。空氣模型可確保晶圓步進器的內部環境不受任何可能破壞的灰塵和碎片顆粒的影響。而真空設備則保持了系統內精確掩模對準的穩定一致的環境。總體而言，ASML AT-1200晶片步進器是半導體IC制造商使用的一種先進的光學對準裝置，在最短的時間內生產具有可重復精度和效率的高質量集成電路。它的自動化組件確保了光刻面罩的精確和一致對準，而其集成的光、空氣和真空系統保持了最佳的操作環境。