二手 ASML AT 1200B #293602555 待售
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ASML AT 1200B是半導體制造中用於光刻的最先進的晶圓步進器。它提供了高度的精確度和可重復性，這對於在現代集成電路上仿制納米級結構至關重要。晶圓步進器由幾個不同的部分組成。它的光學模塊包含幾種不同的透鏡，包括標線物鏡，將成像光聚焦在光刻塗層晶片上。標線被固定在標線架中，並以精確的圖樣掃描在晶圓上。晶片級用於在成像光學器件下平移和旋轉晶片。步進器還有一個照明系統，帶有一個可移動的氙燈，允許精確調整用於曝光光刻膠的紫外線能量。還包括一個照相機系統，用於自動對準和監測制圖過程。步進器由計算機化控制器模塊操作，該模塊包括一個用戶友好的圖形界面，用於設置和管理步進器的工藝參數。這允許在適應新結構或工藝設置時具有高精度、可重復性和靈活性。步進器還包括多種內置的安全功能,以確保其正常運行並防止對關鍵組件或曝光造成任何損壞。除了其準確性和可重復性之外,步進器的模塊化設計還可以方便地安裝和維護,以及分開的電氣和機械部件,以更快、更有效地進行維修。步進器具有先進的成像算法技術和快速可靠的晶片圖樣能力，非常適合生產設置。總體而言，ASML AT-1200B是一種高度精確和精密的晶圓步進器，旨在實現最高水平的光刻性能。它能夠產生極精確的納米級圖樣，為現代IC生產過程提供高水平的速度、精度和可重復性。
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