二手 ASML AT 1200B #293752358 待售

ASML 1200B是一種先進的晶圓步進器，用於集成電路（IC）的制造。它是一種光刻工具，使用紫外線和光刻劑來圖樣IC。ASML 1200B是一種晶圓級、步進重復的設備，具有改進的光學設計和更陡峭的柱角。這樣可以使更多的光到達晶圓表面,從而實現更快的吞吐量和更高的吞吐量。步進器也有較高的精度，特徵大小小至0.6微米，對準精度小於一微米。ASML 1200B具有通用的對齊系統。它可以產生線擴展函數（LSF）、臨界尺寸均勻性（CDU）、邊緣放置精度（EPA）、低顆粒物水平（LPL），以及其他最佳裝置性能所需的參數。該單元還提供可調曝光設置和虛擬場監視器（DFM）,以實現IC陣列制作過程的產量優化。步進器還提供自動對焦調節功能，使機器能夠不斷監控和調整以獲得最佳對焦。步進器還具有一系列曝光設置的可編程參數。ASML 1200B可以處理各種光刻膠和抗反射塗層（ARC）,以獲得最佳的光刻圖樣。它既能處理正負光刻膠，又能精確優化器件類型。該工具能夠處理直徑不超過8英寸的單模晶片。該設備還能夠處理直徑不超過12英寸的多模晶片,從而提高吞吐量。綜上所述,ASML 1200B是一種高級晶片步進器,可提供更高的吞吐量、更高的設備精度、可編程參數和可調節的曝光設置,以用於優化設備陣列處理。它能夠處理單模和多模晶片，以及一系列的光刻膠和ARC材料，在集成電路的制造中提供優異的性能。