二手 ASML AT 1250D #9241299 待售

ASML AT 1250D晶片步進器是一種用於在半導體器件制造過程中在矽晶片上曝光光刻膠的系統。它使用高精度、激光幹涉儀控制的掃描儀以及一系列全面的工具和設置，使工程師和技術人員能夠準確和可重復地制造先進的半導體器件。該平臺利用一系列組件子系統來實現此級別的性能和復雜性。為實現其自動化操作,晶片步進器使用多達8個機動化運動軸,包括X、Y、Theta、Z、Accel和Focus,這些軸經過管理和集成,以確保非常準確和可重復的結果。晶圓步進器的光學子系統采用集成透鏡（最多8個）和安裝在球形龍門上的可移動鏡，以及激光二極管和光電二極管陣列。這些元件和步進器的幹涉儀控制掃描儀的組合使工程師能夠在半導體晶片上精確一致地繪制光阻圖樣。除了自動運動和光學子系統外，該平臺還包括先進的人機接口（HMI）軟件，該軟件作為操作員控制臺，使工程師和技術人員能夠直觀地、高效地與設備進行交互。HMI包括一個包含多個按鈕的控制面板、幾個基於文本的顯示、快捷鍵以及針對不同配方和過程的預編程設置。它還促進晶片步進器與一系列外圍設備的集成，例如用於精確處理晶片的機器人臂，或用於更復雜的工藝工作的視覺系統。最後，該系統還包括一些環境傳感器，使設備能夠監測和調節其內部溫度、壓力水平和流量，因為這些參數可能因光刻工藝的性質和復雜性而有很大差異。所有這些功能結合起來,有助於ASML AT-1250D晶圓步進器在集成電路和其他微電子元件的生產中提供卓越的性能。