二手 ASML AT-850 #9193537 待售

ASML AT-850是一種高精度晶圓步進器，用於半導體器件制造過程的各個階段。它旨在提供一個全面的平臺,允許精確的陣列和產品上的測試。ASML AT 850設備利用先進技術的組合，包括光刻、標線定位、基板對準、加熱和冷卻以及舞臺運動，在半導體基板上創建高度復雜的結構。步進器基於矽的光刻系統能夠獲得令人印象深刻的5nm分辨率，允許復制復雜的電路模式。該設備能夠在一個對齊標記中精確地在四個標線上顯示和成像圖樣,這使其成為大批量生產的絕佳選擇。步進機的舞臺運動機具有先進的電機,定位分辨率為2.5nm,使設備能夠在曝光前將基板精確定位在標線下方。采用電熱執行器來確保基板溫度在曝光過程中均勻穩定。這種熱穩定有助於將溫度引起的晶片步進器性能變化所造成的誤差降至最低。反射式標線定位工具保持標線的精確方向，從而提供照明圖像在基板上的精確投影。步進器還配備了模式對齊資產，確保舞臺位置始終與標線精確對齊。最後，加熱器和冷卻系統是晶圓步進器中必不可少的部件。采用高精度加熱模型控制基板在制造過程中的溫度，冷卻設備在暴露過程後迅速將基板帶到可接受的溫度。總體而言,AT-850是一種先進的晶圓步進器,具有出色的精確度和高容量生產能力。其精確的標線定位、襯底對準、熱管理和舞臺運動的結合，使其成為在半導體材料上創建高度復雜結構的絕佳選擇。